EDX-LE能量色散X射線分析是用于元素分析應(yīng)用的兩種通用型X射線熒光技術(shù)之一。在EDXRF光譜儀中，樣品中的所有元素都被同時(shí)激發(fā)，而能量色散檢測(cè)儀與多通道分析儀相結(jié)合，用于同時(shí)收集從樣品發(fā)射的熒光輻射，然后區(qū)分來自各個(gè)樣品元素的特性輻射的不同能量。

 

　　X射線光學(xué)晶體可用于增強(qiáng)EDXRF儀器。對(duì)于常規(guī)XRF儀器，樣品表面典型焦斑尺寸的直徑范圍從幾百微米到幾毫米不等。多毛細(xì)管聚焦光學(xué)晶體從發(fā)散X射線源收集X射線，并將它們引導(dǎo)至樣品表面上形成直徑小到幾十微米的小聚焦光束。

 

　　EDX-LE能量色散X射線分析利用不同元素的X射線光子特征能量不同進(jìn)行成分分析，由此增加的強(qiáng)度以小焦斑傳遞到樣品，可增強(qiáng)用于小特性分析的空間分辨率和用于微EDXRF應(yīng)用的微量元素測(cè)量性能。

 

　　能量色散X射線光譜（EDX）通常借助電子顯微鏡使用對(duì)樣品實(shí)施微區(qū)成分分析，依據(jù)元素特征X射線的波長(zhǎng)和強(qiáng)度，來檢測(cè)樣品中不同元素的相對(duì)含量和分布情況。

 

　　在電子與物質(zhì)相互作用時(shí)，采用能聚焦的入射電子可以激發(fā)初級(jí)x射線，不同元素發(fā)射出來的特征x射線波長(zhǎng)不同，能量也不同。利用x射線能量不同而展譜一般稱為x射線能譜分析或能量色散x射線分析，所用設(shè)備通常稱為能量色散譜儀。

 

　　主要單元是半導(dǎo)體探測(cè)器及多道脈沖高度分析器，用以將特征x射線按能量展i｝｝Er7，5的分辨率遠(yuǎn)不如波長(zhǎng)色散譜儀，它有分析速度快的優(yōu)點(diǎn)，和通用的x射線波長(zhǎng)色散譜儀相比可提高10倍，如果進(jìn)行物相鑒定，只需幾分鐘就可以得到被測(cè)物質(zhì)的全部衍射花樣。