EDX能量色散X射線分析是將X射線激發(fā)被測所有元素的熒光簡單過濾后,全部進入到檢測器中,利用儀器和軟件來分出其中的光譜。如測的為元素周期表中相鄰的兩個元素,會因光譜重疊而產(chǎn)生測量誤差。能量色散型儀器最大的優(yōu)點是不破壞被測的材料或產(chǎn)品,也不需要專業(yè)人員操作,缺點是對鉻和溴是總量測定,一般不影響使用,因為很多情況可以判定,如測鉻總量超標(biāo),??芍遣皇橇鶅r鉻超標(biāo),特別是溴,如被作為阻燃劑加入,不管是哪種溴,總量超標(biāo)就不合格。
EDX能量色散X射線分析主要由激發(fā)源(X射線管)和探測系統(tǒng)構(gòu)成。其原理就是:X射線管通過產(chǎn)生入射X射線(一次X射線),來激發(fā)被測樣品。受激發(fā)的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線(又叫X熒光),并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性。探測系統(tǒng)測量這些放射出來的二次X射線的能量及數(shù)量或者波長。
然后,儀器軟件將探測系統(tǒng)所收集到的信息轉(zhuǎn)換成樣品中各種元素的種類及含量。元素的原子受到高能輻射激發(fā)而引起內(nèi)層電子的躍遷,同時發(fā)射出具有一定特殊性波長的X射線,因此,只要測出熒光X射線的波長或者能量,就可以知道元素的種類,這就是熒光X射線定性分析的基礎(chǔ)。
此外,熒光X射線的強度與相應(yīng)元素的含量有一定的關(guān)系,據(jù)此,可以進行元素定量分析。用X射線照射試樣時,試樣可以被激發(fā)出各種波長的熒光X射線,需要把混合的X射線按波長(或能量)分開,分別測量不同波長(或能量)的X射線的強度,以進行定性和定量分析,為此使用的儀器叫X熒光光譜儀。由于X熒光具有一定波長,同時又有一定能量,因此,X射線熒光光譜儀有兩種基本類型:波長色散型和能量色散型。